Как идут работы по российскому литографу на 28 нм: Информация от наших ученых
Стали известны новые подробности по рентгеновскому литографу. Несколько дней назад у меня вышла статья «Рентгеновская оптика для российского литографа. Начался симпозиум «Нанофизика...