У истоков российских сверхточных современных литографов
В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведется разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам. Сейчас, как говорят сами разработчики, создан демонстрационный образец,…