• 02.02.2023 05:30

ТЕХНОСФЕРА РОССИЯ

Производство Наука Технологии ВПК Импортозамещение

фотолитография

  • Главная
  • У истоков российских сверхточных современных литографов

У истоков российских сверхточных современных литографов

В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведется разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам. Сейчас, как говорят сами разработчики, создан демонстрационный образец,…

В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм

Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному исследовательскому университету «МИЭТ» (Зеленоград). Стартует разработка технологии для создания в будущем отечественной установки фотолитографии на…