В 2022-2024 годах в Московском физико-техническом институте (национальный исследовательский университет) ведется разработка новых отечественных научных приборов: однолучевого оптического 3D-литографа с...
В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведется разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным...
Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному исследовательскому университету «МИЭТ» (Зеленоград). Стартует...
