фотолитография

Про новый российский 3D-литограф и еще 3 инновационных прибора от наших ученых

В 2022-2024 годах в Московском физико-техническом институте (национальный исследовательский университет) ведется разработка новых отечественных научных приборов: однолучевого оптического 3D-литографа с...

В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм

Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному исследовательскому университету «МИЭТ» (Зеленоград). Стартует...