В России идет работа над 130-нм собственным литографом
В сентябре 2024 года Зеленоградский нанотехнологический центр сообщил о ходе работ по созданию отечественного промышленного фотолитографического оборудования. Как уже писала...
фотолитография
Как идут работы по российскому литографу на 28 нм: Информация от наших ученых
Стали известны новые подробности по рентгеновскому литографу. Несколько дней назад у меня вышла статья «Рентгеновская оптика для российского литографа. Начался симпозиум «Нанофизика...
Про новый российский 3D-литограф и еще 3 инновационных прибора от наших ученых
В 2022-2024 годах в Московском физико-техническом институте (национальный исследовательский университет) ведется разработка новых отечественных научных приборов: однолучевого оптического 3D-литографа с...
У истоков российских сверхточных современных литографов
В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведется разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным...
В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм
Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному исследовательскому университету «МИЭТ» (Зеленоград). Стартует...
