Разработана российская технология производства и хранения сырья для микроэлектронной отрасли
Отечественное предприятие НПП «Салют» (Нижний Новгород) разработало технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции – моносилана, арсина, фосфина, аммиака, трехфтористого бора, треххлористого бора. Новая…