Создана первая в России установка плазмохимического осаждения на 300-мм кремниевых пластинах
Российское предприятие НИИТМ (Зеленоград, Московская область) завершило разработку и выпустило опытный образец первой отечественной установки плазмохимического осаждения на 300-мм кремниевых...