ИФМ РАН

Как идут работы по российскому литографу на 28 нм: Информация от наших ученых

Стали известны новые подробности по рентгеновскому литографу. Несколько дней назад у меня вышла статья «Рентгеновская оптика для российского литографа. Начался симпозиум «Нанофизика...

Еще раз о работах по российскому рентгеновскому литографу

Осенью прошлого года я написал статью «Российский рентгеновский литограф профинансирует «Росатом». Дело пошло!», в которой изложил открытую информацию о создании высокопроизводительного рентгеновского литографа...