• 08.02.2023 03:44

ТЕХНОСФЕРА РОССИЯ

Производство Наука Технологии ВПК Импортозамещение

Разработана российская технология производства и хранения сырья для микроэлектронной отрасли

Отечественное предприятие НПП «Салют» (Нижний Новгород) разработало технологии получения, хранения и транспортировки высокочистых газов, применяемых при изготовлении современной микроэлектронной продукции – моносилана, арсина, фосфина, аммиака, трехфтористого бора, треххлористого бора.

Новая технология предназначена для замены импортных поставок российскими. Технологические газы используются на каждом этапе изготовления полупроводниковых приборов. Многие специальные газы необходимого для микроэлектронной отрасли уровня чистоты в России до настоящего времени не изготовлялись. Также выработана новая система их хранения, позволяющая сохранять чистоту в баллонах низкого давления на срок не менее 6 месяцев, а в баллонах высокого давления – не менее 1 года. В НПП «Салют» готовы удовлетворить потребности российского рынка в высокочистых газах, и при необходимости увеличить объемы их производства.

Как пояснили разработчики, высокочистые газы играют важную роль в создании микроэлектроники. Так, в производственном процессе может использоваться до нескольких десятков разнообразных газов. Как вполне обычных (кислород, азот, двуокись углерода, водород, аргон), так и довольно редких или токсичных (фтор, трехфтористый азот или бор). Например, арсин и фосфин служат для изменения проводимости материала, что позволяет регулировать электрические свойства полупроводников. Моносилан широко применяется при изготовлении подложек и технологических слоев микросхем.

ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦСЕТЯХ: