В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм

Минпромторг России выделил средства на создание безмасочного рентген-фотолитографа «на базе синхротронного и/или плазменного источника» Национальному … Читать далее В России начата разработка безмасочного фотолитографического оборудования техпроцессов 16-28 нм