В России создали свои лазеры для замены в литографах американских Coherent на 257 нанометров

Автоматическая установка совмещения и экспонирования ЭМ-5784 (Беларусь, 2017 год) с разрешением (минимальным размером элемента) 350 нм

Российская компания «Оптические системы» (Новосибирск) сообщила о создании отечественной «лазерной системы для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем». Об этом рассказали в агентстве ТАСС 27 мая 2025 года. Также приводится информация, что предсерийный прототип пройдет испытания на белорусском предприятии электронной промышленности «Планар», которое, как известно, сегодня участвует в разработке полностью российского литографа.

Как говорят авторы проекта, разработка заменит американские лазеры Coherent на 257 нанометров, которые используются сегодня. В составе созданного в Новосибирске программно-аппаратного комплекса — лазер мощностью 10-30 милливатт и волоконный усилитель, поднимающий мощность лазера до 15 ватт. Одной из важных особенностей новой системы является ее пониженное энергопотребление. Точные технические детали проекта не приводятся.

Отметим, что информация в первоисточнике приводится достаточно отрывочная, возможно, искаженная непрофессиональным журналистом. Ее репосты и перепечатки еще более запутанные и непонятные. Не беремся судить о том, что же всё-таки представляет из себя новосибирская разработка, но в этой новости интересно именно упоминание минского завода «Планар», задействованного в проекте первого российского литографа на 350 нм.

В редакции медиаресурса «Техносфера. Россия» будут рады профессиональным комментариям представителей компании-разработчика и готовы их опубликовать на нашем портале.


ЧИТАЙТЕ ТАКЖЕ наши материалы:

Как выглядит первый российский литограф на 350 нм?

Российские ученые разработали литограф для печати фотонных интегральных схем

Создана первая в России установка плазмохимического осаждения на 300-мм кремниевых пластинах

Какими будут новые российские процессоры на архитектуре Эльбрус-Б?

Российская автоматизированная биометрическая идентификационная система используется в Монголии

 

ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦСЕТЯХ: