Какие химические разработки ведутся в России для микроэлектроники

На прошедшем 20 февраля 2025 года в Москве «Форуме будущих технологий» прозвучала информация о том, как осуществляемые в России разработки в области химии отражаются на реальном импортозамещении в радиоэлектронной промышленности. Об этом рассказала в своем выступлении руководитель одного из ведущих российских предприятий отрасли — зеленоградского «Микрона» — Гульнара Хасьянова. Только при производстве электроники по 180-нм технологии на иностранном оборудовании на этом заводе используется 43 химических материала и 39 специальных газов. В 2016 году все используемые здесь химические компоненты были импортными. Но постепенно ситуация меняется в лучшую сторону.
Так, по информации Гульнары Хасьяновой, российские химики смогли выполнить большой объем сложной работы по разработке и запуску в производство полностью идентичных иностранным материалов и газов. В начале 2025 года 16 материалов уже находятся в производстве в РФ, 17 разрабатываются при поддержке государства, еще 10 планируются к разработке.
В качестве примера одного из разработанных и запущенных в производство материалов руководитель «Микрона» приводит серную кислоту 96%-очистки. Когда процессы по импортозамещению только стартовали, то в России не производили даже серную кислоту 30%-очистки для фармацевтической индустрии, всё закупали за рубежом. При этом с очисткой 96% серную кислоту в Евросоюзе выпускало только одно предприятие, и «обходные» схемы по ее закупке выглядели смешно и нереализуемо — она годилась только для электронной промышленности. Российские химики закрыли потребности и наладили необходимое производство в нашей стране.
В части необходимых газов для производства микроэлектроники («специальных электронных газов«) в России удалось разработать и запустить в производство 18 видов, еще 7 находятся в стадии подготовки к выпуску, 6 — в разработке, 8 — в ближайших планах.
Разработки российских химиков для микроэлектроники находятся на высоком уровне, отмечает руководитель «Микрона», они не только позволяют заместить иностранные аналоги, но и вполне подходят для вывода на рынки азиатских стран, где существует такая промышленность и готовы работать с Россией.
На фото: сборочная линия завода «Микрон» по выпуску микросхем в пластиковых корпусах, 2024 год. Источник фото: АО «РАДИАНТ-ЭК», radiant.su
ЧИТАЙТЕ ТАКЖЕ наши материалы о передовых российских разработках:
В России разработана новая технология синтеза нанокерамики для электронной промышленности
В России создана новая технология производства тонких пленок для SMD-резисторов
Российские физики разработали первый отечественный непрерывный квантово-каскадный терагерцовый лазер