Российские ученые разработали уникальный нагреватель для вакуумной установки осаждения

Как сообщило издание Московского Физтеха «За науку», в МФТИ разработали оригинальный нагреватель, используемый в процессе создания полупроводниковых структур в ходе производства наноэлектронных девайсов. Он не только нагревает образцы из кремния до температуры 600 °C, но и отличается экономической эффективностью — более устойчив к эксплуатации в атмосфере кислорода и стоит в разы дешевле предшественника.

Интересен тот факт, что разработку выполнил студент второго курса магистратуры ФЭФМ, сотрудник лаборатории функциональных материалов и устройств для наноэлектроники МФТИ Никита Жидков (на фото). Он рассказал, что новый нагреватель должен был соответствовать строгим требованиям, так как он будет использоваться в вакуумной установке. Прибор необходимо было разработать таким образом, чтобы он выдерживал высокие температуры и при этом не загрязнял рабочую среду.

В процессе изготовления нового нагревателя использовались теплоотводящие керамические пластины из оксида алюминия толщиной 1 мм и проволока из сплава «фехраль». Испытания подтвердили полную работоспособность изделия, в том числе при создании новых структур из оксидов циркония и рутения.

По словам разработчика, новое устройство демонстрирует работоспособность и на сегодняшний день не имеет аналогов на рынке. В дальнейшем нагреватель будет использоваться в микроэлектронике, включая создание мемристорных структур для нейроморфных чипов. Последние применяются в машинном обучении, так как способствуют ускорению работы алгоритмов и уменьшению энергопотребления.

Фото пресс-службы МФТИ

ПОДЕЛИТЬСЯ В СОЦСЕТЯХ: